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洁净厂房的工艺设计方案
来源:网络 | 作者:洁净厂房 | 发布时间: 2019-08-12 | 253 次浏览 | 分享到:
一、一般规定
(1)洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展及产品生产工艺改造与扩大生产预留必要的条件。(2)洁净厂房工艺设计应确认各种生产条件,在符合电子产品生产要求的前提之下,应做到安全性能好、建设投资少、能量消耗少运行费用低、生产效率高。(3)洁净厂房工艺设计应依据产品生产工艺与空气洁净度等级要求设置人流路线、物料运输与仓储设施。
二、工艺布局
(1)洁净厂房的工艺布局应按照产品生产工艺流程、洁净厂房的气流流型、工艺设备的安装与维修、物料运输等要求确认。
在单向流洁净厂房内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线与物料传输布置时,应采取防止发生气流干扰与交叉污染的措施。
(2)工艺布局应防止人流与物流间的混杂与交叉,宜分别设置人员入口、物料入口与设备出入口,并且在各自的入口处设置相应的净化设施。
(3)在符合生产工艺与微振控制、噪声控制等要求的前提之下,空气洁净度严格的洁净厂房宜靠近空调机房布置;空气洁净度等级相同的工序或是工作室宜集中布置。
(4)洁净厂房内要求空气洁净度严格的工序(设备)应远离出口与可能阻碍气流的场所设置,并且宜布置在上风侧;易产生水污染的工艺设备应布置在接近回风口位置或是下风侧。
(5)工艺布置时,应依据大型生产工艺设备的运输、安装、维修的要求设置运输通道、安装口或是检修口。
(6)洁净厂房内有所不同空气洁净度等级的洁净厂房之间关联频繁时,应采取防止水污染的措施。

三、人员净化

(1)人员净化用室与设施应依据洁净室的规模、空气洁净度等级设置,并且应设置生活用室。人员净化使用室宜按照图5.3.1的人员净化程序进行布置。
(2)人员净化用室,应依据换鞋(净鞋)、更外衣、更洁净工作服等的需要设置。雨具存放、厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房与空气吹淋室、气闸室、洁净工作服洗涤间以及干燥间等其他用室,可根据需要设置。
(3)洁净厂房内人员净化用室与生活用室的建筑面积,应依据洁净室的规模、空气洁净度等级与洁净室内工作人员数量等确认,宜按照洁净厂房之内设计人数平均值2~4m3/人计算。
(4)人员净化用室与生活用房的设置,应符合下列规定:
①净鞋设施应设在洁净室入口处;
②更换外衣与更换洁净工作服用室绝不应设置在同一房间内;
③外衣存放柜应按照洁净厂房内设计人数配置;
④应设置存放洁净工作服,而且具有空气净化的存衣设施;
⑤应设置感应式洗手与烘干设施;
⑥厕所宜设在进入人员净化用室之前,需设在人员净化用室内时,应设置前室。
(5)洁净厂房空气吹淋室的设计,应符合下列要求:
①在洁净厂房的入口处宜设空气吹淋室,当不设空气吹淋室时,应设气闸室;
②吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位;
③单人空气吹淋室,应按照最大班人数每30人设一台,洁净厂房工作人员超过5人时,空气吹淋室侧应设单向旁通门;
④空气吹淋室的进,出不得同时打开,应采取连锁控制措施;
⑤空气洁净度等级作为5级或是严于5级的垂直单向流洁洁净厂房,宜设气闸室。
(6)人员净化用室与生活用室的空气洁净度等级,宜由外至内逐渐洁净,室内可送入经高效空气过滤器的洁净空气。
洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁洁净厂房的空气洁净度等级;当设有洁净工作服洗涤室时,洗涤室的空气洁净度等级宜为8级。

四、洁净厂房物料净化

(1)洁净厂房内的设备与物料出入口,应独立设置,并且应依据设备与物料的特征、性质、形状等设置净化用室以及适当物净设施。
(2)物料净化用室和洁净厂房之间应设置气闹室或是传递窗。

五、洁净厂房设备及工器具

(1)洁净厂房内应采用具备防尘、防污染的生产设备与辅助生产设备,并且应符合下列要求:
①表面应光洁、不易消毒、不积尘、不挥发化学物质;
②设备的传动部件等应密封性能好,并且应防止润滑油、冷却剂等的泄漏;
③对生产中发尘、排热量大或排出有毒、可燃气体的设备,应采取防扩散措施;
④设备的金属外壳应设置接地设施。
(2)当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净厂房时,宜采取密封隔断措施。
(3)洁净厂房之内的设备宜选使用低噪声产品。如果所选设备超过洁净室噪声容许值时,应采取隔声措施。
(4)洁净厂房应设置对于电子产品生产过程中所采用的工器具进行净化处理的设施。
(5)洁净厂房内,电子产品生产过程中各种零、部件存放与传送,宜使用专用容器。用作放置与传送的专用容器,应合乎下列规定:
①制作材料应光洁、不吸湿、不锈蚀、不散发染物、防静电,并且于空气中不应被氧化;
②应密封性能好;
③当存放物有严格的洁净度要求时,宜充填高纯度或是干燥氮气;
④构造、外形应符合生产工艺要求,并且应方便操作与运送。
(6)洁净厂房内设置真空泵时,应符合下列规定:
①采用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统;
②对于传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时,应设尾气处理装置,在排入排气系统前应去除或稀
释可燃气体组分;
③传输易燃、自燃化学品或是高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与和生产工艺设备操作系统联锁。

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